沈阳科仪真空干泵正式在中芯国际(北京)批量应用

撰稿: 发布时间:2016-11-30

  由中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司(以下简称沈阳科仪)承担实施的“十一五”国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”——“干泵与系列真空阀门产品开发与产业化”项目于20154月通过验收。 

  该项目产品继今年6月通过中芯国际(深圳)8寸生产线测试并实现批量采购后,又分别通过了中芯国际(北京)12寸生产线和武汉新芯12寸生产线PVD工艺测试。1125日,沈阳科仪按期交付中芯国际(北京)第一批真空干泵28台采购订单,打破了国外产品在该领域持续多年的强力垄断,成功实现了国产化替代。产品经过产业化验证和应用,性能稳定,服务和产品价格与国外同类产品相比具有明显优势,不但能够为国产集成电路工艺设备提供核心附属设备,也可以在进口工艺设备上进行替换使用。 

  目前,沈阳科仪是国内唯一能够为集成电路工艺设备制造厂商和FAB工厂批量生产真空干泵的厂家。未来几年,国内规划建设的12寸晶圆制造厂达到10座以上,真空干泵的市场需求潜力巨大,需求量达5万台以上。沈阳科仪将持续努力,为实现我国在该领域的崛起贡献出自己的一份力量。